真空等離子清洗機(jī)該如何選型

更新時(shí)間：2020-05-28

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　　在當(dāng)今這個(gè)時(shí)代，隨著科技的飛躍發(fā)展，新科技產(chǎn)業(yè)鏈的迅速發(fā)展趨勢(shì)，其運(yùn)用愈來(lái)愈廣，低溫等離子清洗技術(shù)的運(yùn)用也愈來(lái)愈廣。低溫等離子清理技術(shù)性對(duì)產(chǎn)業(yè)發(fā)展和人類(lèi)發(fā)展史危害較大，首先推薦電子器件資訊工業(yè)，特別是在是半導(dǎo)體業(yè)與光學(xué)工業(yè)生產(chǎn)。隨之愈來(lái)愈多應(yīng)用領(lǐng)域到真空等離子清洗機(jī)，如何選擇合適自身的真空等離子清洗機(jī)就變成了大家的一個(gè)難題。那么真空等離子清洗機(jī)該怎樣選型呢？

　　1、腔體材料的選擇

　　現(xiàn)階段普遍的腔體材料有下列幾類(lèi)，石英腔體，不銹鋼板腔體，鋁合金型材腔體，三種腔體都有各的優(yōu)點(diǎn)，石英腔體溫度低，且不容易產(chǎn)生反映。

　　2、機(jī)械泵的選擇

　　是選擇國(guó)內(nèi)的泵，這是的，是干泵還是油泵，是單極泵，還是雙極泵，每一種機(jī)械泵的選擇能夠依據(jù)顧客的具體須來(lái)選擇，這兒也不做過(guò)多的過(guò)多闡釋。

　　3、頻率的選擇

　　常用的等離子體激發(fā)頻率有三種：激發(fā)頻率為40kHz的等離子體為超聲等離子體，13.56MHz的等離子體為射頻等離子體，2.45GHz的等離子體為微波等離子體。選用40KHZ等離子再加入適當(dāng)?shù)姆磻?yīng)氣體，可以有效去除膠質(zhì)殘?jiān)⒔饘倜痰鹊?，因?yàn)?0KHz為較早的技術(shù)，其射頻匹配后能量消耗過(guò)大，實(shí)際作用到清洗物上的能量不足原有能量的

　　4、供氣的選擇

　　普遍的真空等離子清洗機(jī)全是兩路口汽體安全通道，可是這并不可以考慮全部的解決要求，假如必須大量的反映汽體，那麼汽體安全通道還要適度提升，這一都是依據(jù)顧客的具體要求來(lái)選擇幾路汽體安全通道。

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